ERT的白光同轴共焦光谱检测技术让我们进入纳米级的测量领域
产品的独特性能
1. 产品技术原理：一种全新的光谱共焦原理，可测量距离和厚度；
2. 任何材质和表面：包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量；
3. 超高精度测量：最小线性度可达0.03μm，最高分辨率为0.3 nm；
4. 从100μm-42 mm的可选量程；
5. 超高采样频率：2K-60KHz，用于生产线，替代人工并提高合格率；
6. 超高采样频率：2K-60KHz，用于生产线，替代人工并提高合格率；
7. 测量范围极广，几乎无死角，解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差等问题，最大可测倾角87度；
8. 可进行透明工件（LCD、LCM、手机摄像头等）多层厚度的测量，最小可测量厚度为400 nm；
9. 可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量，到工业在线检测、自动化控制等。